A HEIDENHAIN mérőkészülékek fontos alkotórészei a többnyire rácsosztás formájában megjelenő mértékmegtestesítők, melyek jellemző struktúraszélessége 0,25 µm-től 10 µm-ig terjed. Ezek a precíziós osztások a HEIDENHAIN által kifejlesztett eljárásokkal (pl. DIADUR vagy AURODUR) készülnek és meghatározók a mérőkészülékek pontossága szempontjából. Az egyes vonások távolsága és alakja rendkívül pontos, kontúrjaik pedig nagyon élesek. Az osztások jól ellenállnak a mechanikai és vegyi hatásoknak, érzéketlenek a vibrációs és lökésszerű terhelésekkel szemben, hőmérsékletfüggő viselkedésük definiált.